岱美中國一次性拿到客戶(hù)3臺膜厚測量?jì)x訂單(2023,07)

用戶(hù)是位于北京懷柔的實(shí)驗室，系guo家級新型科研事業(yè)單位，面向清潔低碳安全高效能源體系構建和“碳達峰、碳中和”戰略目標，開(kāi)展戰略性、前瞻性、基礎性的科學(xué)技術(shù)研究。

Thetametrisis膜厚測量?jì)x設備主要應用于客戶(hù)某工藝階段的氧化物、光刻膠、半導體化合物等涂層厚度方面的測量。

ThetaMetrisis的核心技術(shù)是白光反射光譜（WLRS），它可以在從幾埃到毫米的超寬范圍內準確測量堆疊薄膜和厚膜的厚度和折射率。

FR-μProbe顯微薄膜測量?jì)x提供一站式解決方案，通過(guò)光學(xué)顯微鏡在各種模式下進(jìn)行光學(xué)測量，如吸光度、透射率、反射率和熒光等。

FR-μProbe主要包含兩個(gè)光學(xué)組件：一個(gè)在顯微鏡支持的光譜范圍內運行的光譜儀和一個(gè)安裝在三筒光學(xué)顯微鏡C-mount端口上的模塊。用于測量的光源來(lái)自光學(xué)顯微鏡本身。測量光斑的大小區域由所用物鏡的放大倍數定義。通常對于50X物鏡，測量區域是一個(gè)直徑約5μm的圓形。通過(guò)使用更高放大倍率或更小孔徑的物鏡，可以進(jìn)一步縮小測量光斑。