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簡(jiǎn)要描述：FR-Ultra 是一款專(zhuān)用于精確測量半導體以及介電材料超厚層的專(zhuān)用設備。 藉由先進(jìn)的光學(xué)器件，FR-Ultra 可以測量光滑或粗糙的薄膜以及較厚的基材。
產(chǎn)品型號：廠(chǎng)商性質(zhì)：代理商產(chǎn)品資料：更新時(shí)間：2024-03-19訪(fǎng) 問(wèn) 量： 475產(chǎn)品分類(lèi)
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FR-Ultra 是一款專(zhuān)用于精確測量半導體以及介電材料超厚層的專(zhuān)用設備。 藉由先進(jìn)的光學(xué)器件，FR-Ultra 可以測量光滑或粗糙的薄膜以及較厚的基材。
典型應用包括：厚玻璃的厚度測量（厚度可達 2 毫米，透明或霧面）晶圓厚度測量（例如直徑達 12 英寸的單面或雙面拋光晶圓）。
FR-Ultra可以很容易地與笛卡爾坐標系和極坐標結合，用于大面積的厚度測量。
硅片厚度分布圖（12英寸）
特點(diǎn)：
o 單擊分析（無(wú)需輸入初始預估值）
o 動(dòng)態(tài)測量
o 內建700種以上不同材料
o 可安裝多個(gè)離線(xiàn)分析軟件
o 免費軟件更新
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