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簡(jiǎn)要描述:LODAS™ – LI系列是列真株式會(huì )社推出的一款FPD Photomask缺陷檢查裝置。
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列真株式會(huì )社自創(chuàng )業(yè)以來(lái),秉承“挑戰"、“創(chuàng )造"、“誠實(shí)"的經(jīng)營(yíng)理念,為顧客提供可靠、可信的產(chǎn)品和服務(wù)。運用激光掃描技術(shù),專(zhuān)門(mén)制造、銷(xiāo)售半導體材料表面及內部檢查、石英玻璃表面檢查等檢查裝置。
特征:
A面、B面同時(shí)檢查
可支持G10、G8、G6尺寸
用微分干涉顯微鏡判斷、分析表面和背面缺陷
檢查對象:FPD Photomask Substrate、Cr、Resist Blanks
檢查項目:表面和背面顆粒、內部缺陷
定期支持裝置安裝完成后的性能維持。
24小時(shí)電話(huà)對應,全年無(wú)休的安心支持。
認真對待客戶(hù)新的要求。
召開(kāi)技術(shù)研討會(huì )和充實(shí)各種手冊,讓顧客能夠自行維護和更換零件。
提供HDD、激光光源等消耗品的免費診斷服務(wù)。
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