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簡(jiǎn)要描述:高精度臺階儀ET4000系列理想的高性能通微細形狀測定機 ET4000M多功能的全自動(dòng)微細形狀測定機 ET4000A多目的?多功能的全自動(dòng)二次元?三次元微細形狀測定機 ET4000AK對于大尺寸也能對應的全自動(dòng)微細形狀測定機 ET4000L可對應12英寸全行程連續測定全自動(dòng)微細形狀測定機 ET4300
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探針測量是通過(guò)監測精密探針劃過(guò)薄膜表面的偏移測量薄膜厚度和粗糙度,常常是不透明薄膜如金屬薄膜的其中一種測量方法。
KOSAKA 臺階儀(探針臺)具有以下特點(diǎn):
二維/三維表面粗度解析及臺階測定,可實(shí)現高精度、高辨識能力及優(yōu)越的安全性。
用于平板顯示器、硅片、硬盤(pán)等的微細形狀臺階/粗度測定另外也可利用微小測定力來(lái)對應軟質(zhì)樣品表面測定。
具備載物臺旋轉功能,便于定位下針位置。
高精度 • 高穩定性 • 功能超群。
FPD 基板 • 硅片 • 硬盤(pán)等
微細形狀、段差、粗糙度等測量。
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