三維形貌儀通過(guò)集成一對單點(diǎn),非接觸式,納米分辨率的彩色共聚焦傳感器與高速,納米編碼的X/Y/Z協(xié)調運動(dòng),QuickPRO-CUBE™捕獲同步的前,后和基準表面3D點(diǎn)云地形,用于托盤(pán)中的單鏡頭或微鏡頭的幾何表征。形式不變運動(dòng)架構允許測量旋轉對稱(chēng)和更復雜的非軸對稱(chēng)或自由形狀,最大測量直徑為50mm(高達75mm外徑)。根據鏡頭直徑和3D點(diǎn)云采樣密度的不同,每個(gè)鏡頭每個(gè)表面的總測量時(shí)間從30秒到240秒不等。
測量的幾何參數包括:
· 相對于定義的集中度基準的前后曲面頂點(diǎn)偏移量
· 相對于定義的傾斜基準的前后表面楔角
· 前后總厚度變化(TTV)和中心厚度(CT)
· 前后表面凹陷/形狀誤差
三維形貌儀系統特性:
· 緊湊,臺式機組與環(huán)境外殼
· 雙單點(diǎn)、非接觸、可見(jiàn)光、彩色共聚焦傳感器,8kHz組合測量速率
· 震動(dòng)不敏感和尺寸穩定的Invar計量框架
· 納米編碼X/Y/Z協(xié)調運動(dòng)與磁性直線(xiàn)電機和交叉滾子軸承快速光柵或螺旋掃描超過(guò)50mm (X), 50mm (Y), 50mm (Z)
· 自定義心夾具,精密快速連接,快速裝卸
· 用于單光學(xué)元件(最大外徑75mm)和微透鏡托盤(pán)的固定裝置
· 用戶(hù)友好的QuickPRO™儀器控制和數據采集軟件,用于傳感器優(yōu)化,自動(dòng)定心,數據捕獲和協(xié)調運動(dòng)測序
· CalcuSurf-3D™查看和分析軟件,用于多表面3D點(diǎn)云數據