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二維/三維表面粗度解析及臺階測定 可實(shí)現高精度、高辨識能力及優(yōu)越的安全性 用于平板顯示器、硅片、硬盤(pán)等的微細形狀臺階/粗度測定另外也可利用微小測定力來(lái)對應軟質(zhì)樣品表面測定 載物臺旋轉功能,便于定位下針位置
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