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Product CategoryEVG 510-晶圓鍵合機 是用于研發(fā)或小批量生產(chǎn)的晶圓鍵合系統-與大批量生產(chǎn)設備*兼容。
EVG850 DB-自動(dòng)解鍵合系統(晶圓鍵合機) 經(jīng)過(guò)處理的臨時(shí)鍵合晶圓疊層被分離和清洗,而易碎的設備晶圓始終在整個(gè)工具中得到支撐。支持的剝離方法包括UV激光,熱剝離和機械剝離。
EVG 510-晶圓鍵合系統(EVG鍵合機) 是用于研發(fā)或小批量生產(chǎn)的晶圓鍵合系統-與大批量生產(chǎn)設備*兼容。
EVG620 BA自動(dòng)晶圓鍵合對準機系統 用于晶圓間對準的自動(dòng)化鍵合對準機系統,用于研究和試生產(chǎn)。
晶圓缺陷檢測設備專(zhuān)為晶圓與晶圓對準設計,晶圓尺寸大可達150 mm。EV Group鍵合對準系統提供手動(dòng)高精度帶有底部顯微鏡的校準臺。EVG的鍵合對準系統的精度能滿(mǎn)足MEMS生產(chǎn)和3D集成應用等新興領(lǐng)域中苛刻的對準要求。
EVG805直接鍵合設備是一種半自動(dòng)系統,用于剝離臨時(shí)鍵合和加工的晶圓堆疊,包括器件晶圓,載體晶圓和中間臨時(shí)鍵合膠。該工具支持熱剝離或機械剝離。薄晶圓可以卸載在單個(gè)基板載體上,以便在工具之間安全可靠地轉移。
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