硅片厚度測量?jì)x測量原理是什么？有什么特性？

 　  測試原理：
　　硅片厚度測量?jì)x采用機械接觸式測量原理，截取一定尺寸的式樣；通過(guò)控制面板按鈕，調節測量頭降落于式樣之上；依靠?jì)蓚€(gè)接觸面產(chǎn)生的壓力和兩接觸面積通過(guò)傳感器測得的數值測量材料的厚度。